CX-200plus 掃描式電子顯微鏡
通過簡潔的設計和軟件Nano-station 4.0，用戶可以輕鬆使用掃描式電子顯微鏡CX-200PLUS。
CX-200plus機台特色
- 簡潔而強大的性能
- 3nm解析度
- 標準SE，BSE檢測器
- 標準樣品槽
- 全景攝影功能
- 信號影像融合
- 完全兼容的EDS
- 10個第三方端口
Nanostation 4.0（COXEM SEM專用軟件）
NS 4.0為COXEM SEM的操作提供了最直觀、最方便的UI（使用者界面）。
NS 4.0不僅是為經驗豐富的SEM使用者設計的，也是為首次使用的使用者設計的。
COXEM的Nano-station軟件可以輕鬆地與鼠標和鍵盤配合使用，並且可以通過“自動功能”功能減少使用者直接操作的不便。此外，全景拍攝功能通過消除使用者直接控制相機，長時間移動和拍攝的麻煩，而可以自動捕獲圖像所需部分的數十張或數百張照片。搭載雙顯示模式，讓使用者可同時能看到SE，BSE模式。
BSE感測器
樣品槽影像
全景攝影
NanoStation4.0將數百張甚至數千張的SEM影像，合併成一張完整且接合完美的全景影像。
此功能可以讓使用者在高解析度下看到更大的範圍。
BSE & SE 融合影像
CX-200plus規格
| Resolution SE | 3.0nm at 30kV / 8.0nm at 3kV |
|---|---|
| Resolution BSE | 4.0nm at 30kV |
| Magnification | x15 to x300,000 |
| Digital Zoom | x2, x4 |
| Acceleration Voltages | 1 to 30kV |
| Maximum Specimen Size | 160mm in Diameter |
| X,Y,Z,R,T | X : 0~60mm Y : 0~60mm Z : 5~60mm R : 360º T : -20~90º |
| Detector | SED / BSED |
| Control | Mouse / Keyboard |
| Auto Alignment | Auto Beam |
| Observation Area | 130mm in Diameter |
| Maximum Height | 55mm |
| Stage Control | Eccentric |
| Source | Tungsten |